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생산설비현황

Top-A TechnologyPRODUCT

invents and manufactures semiconductor manufacturing equipment and environmental testing equipment,
including LED/LCD equipment, ovens, chambers, and automobile parts testing equipment
for sale both domestically and overseas.

Vacuum chamber

환경시험장비 오븐&챔버

Vacuum chamber

- 다양한 테스트와 생산 어플리케이션
- Preheating으로 균일한 온도분포 
- 뛰어난 내구성을 위한 블록타입 몰드 히터와 쉬운 유지 관리
- 열 강화 유리로된 관측 창 (Heat tempered glass observation window)
- 전용 폴리카보네이트 안전실드로 안쪽문의 유리 보호 
- 세척이 쉬운 내부 설계
- 실리콘 도어 가스켓과 latch door 훌륭한 진공수준 유지  
- 진공오일 역류 방지를 위한 Solenoid valve
- 완벽한 수준의 진공 수준 달성
- 다양한 용도 적절

특징

- TOP-VD 시리즈는 진공상태를 이용한 표면의 수분제거, 건조, out-gassing, back-out, 열처리 등을 위해 설계되었습니다.
- TOP-A 진공오븐은 건조, 진공 Embedding, 도금, 반도체 공정과 같이 신중하게 제어해야 하는 공정에 이상적이다.
- TOP-VD 시리즈는 정확한 테스트 요구사항을 충족시키기 위해 고객 맞춤형 구성을 제공합니다.

사양

Model No. TOP-VD 27 TOP-VD 64 TOP-VD 150 TOP-VD 512
Test space volume (Liters) 27 64 150 512
Internal dimension (mm) W 300 400 500 800
D 300 400 500 800
H 300 400 600 800
External dimension (mm) W 680 780 880 1,180
D 500 600 700 1,100
H 1,200 1,200 1,350 1,600
Customized dimension Different size of chambers are available on customer"s requirement.
Temperature control range RT+10°C ~ 200℃(Over 200℃ is an optional spec)
Temperature fluctuation Less than 0.5°C(vacuum), Less than 1.0°C(atmospheric)
Temperature uniformity Less than 2.0°C at 200℃
Heat-up rate Within 55min (from RT to 200°C)
Pressure control range 1bar (100kPa) ~ 1mbar (100Pa)
Pressure pull-down rate Within 15min (from 1bar to 1mba)
Pressure recovery time Within 10min
Vacuum pump - Pump type: Oil rotary vane pump
- Exhaust capacity: 193liter/min~290liter/min
- Ultimate total pressure: 2X10^-3mbar
Power supply 200VAC 3PH 50/60Hz, 220VAC 3PH 60Hz, 380VAC 3PH 50/60Hz
Option - Temp and vacuum recorder
- Hermetic terminals for applications or for thermocouples
- Additional shelves
- Oil mist eliminator and exhaust filter

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